旭化成 半導体工場火災 “ケーブル端子の接触不良などが原因”

大手化学メーカーの旭化成は、去年10月に発生した宮崎県にある半導体を製造するグループ会社の工場火災について、製造装置のケーブル端子の接触不良などが原因と推定されるとする調査報告書を公表しました。

この火災は去年10月、宮崎県延岡市にある旭化成のグループ会社「旭化成エレクトロニクス」の半導体の工場で発生したもので、会社側は14日に調査報告書を公表しました。

それによりますと、工場内の損傷が激しく、はっきりとした出火原因は不明だとしたうえで、従業員の目撃証言や工場内の温度変化のデータを分析した結果、小さなほこりなどが入るのを防ぐ、4階のクリーンルームが火元で「ウエハー」と呼ばれる半導体の材料の製造装置から出火したと推定されるとしています。

また、同じタイプの装置を使って検証を行った結果、装置のケーブル端子の接触不良などによって出火し、燃え広がった可能性があるとしています。

会社は、消防法などの法令に基づいて、防火対策や点検などを実施していたとしていますが、今後はクリーンルームに監視カメラを設置し、製造装置の部材を燃えにくいものに変えるなどして再発防止に努める方針です。

火災の影響で、国内の自動車部品メーカーや音響機器メーカー向けの半導体を生産できない状態が続いていて、今も工場の再開のめどは立っていません。